--Câmara de processamento de vidro: ∮100mm; 130mm alto.
--Tamanho da fase do espécime: ∮40mm (copos do espécime da posse 6)
--Tamanho dourado do alvo:
∮58mm*0.12mm (espessura)
--Detecção do vácuo: Calibre de Pirani
--Proteção do vácuo: pa 20 com a válvula da inflação do microscale
--Gás médio: Argônio ou ar com a entrada de ar especial do gás do argônio e gás que regula no microscale.
Coater do salpico do íon A50.7011 | |
Câmara de vácuo | Diâmetro 100mm*H130mm |
Fase do espécime | Diâmetro 40mm (copos do espécime da posse 6) |
Ouro que engasga o alvo | Diâmetro 58mm*0.12mm (espessura) |
Calibre de vácuo | Calibre de Pirani |
Bomba de vácuo | Aleta Pums da rotação: 2L/s |
Ponto da proteção do vácuo | 20Pa com a válvula da inflação do Microscale |
Gás de trabalho | Argônio ou ar com a entrada de ar especial do gás do argônio e gás que regula no microscale |
Engasgando a tensão | 1.6KV |
Peso de efetivação | 48kg |
Conformidade | CE |