| A63.7069 Função principal do software | ||
| Regulagem de alta pressão | Varredura de linha vertical | Regulação de mudança potencial |
| Regulamento atual do filamento | Ajuste do condensador | Medição em várias escalas |
| Ajuste astigmático | Ajuste elétrico para central | Brilho / contraste automático |
| Ajuste de brilho | Ajuste da lente objetiva | Auto-foco |
| Ajuste de contraste | Visualização de fotos | Eliminação automática do astigmatismo |
| Ajuste de ampliação | Régua ativa | Ajuste automático de filamento |
| Modo de varredura de área selecionada | 4 Configuração de velocidade de digitalização | Gerenciamento de parâmetros |
| Modo de varredura de ponto | Inversão da lente objetiva | Instantâneo de imagem, congelamento de imagem |
| Digitalização de superfície | Reversão do condensador | Visão rápida de uma chave |
| Varredura de linha horizontal | Ajuste de rotação elétrica | |
| SEM | A63.7069 | A63.7080 | A63.7081 |
| Resolução | 3nm@30KV(SE) 6nm@30KV(BSE) |
1,5nm@30KV(SE) 3nm@30KV(BSE) |
1,0nm@30KV(SE) 3,0nm@1KV(SE) 2,5nm@30KV(BSE) |
| Ampliação | 8x~300000x Ampliação Verdadeira Negativa | 8x~800000x Ampliação Verdadeira Negativa | 6x~1000000x Ampliação Verdadeira Negativa |
| Canhão de elétrons | Cartucho de filamento de tungstênio pré-centrado | Arma de Emissão de Campo Schottky | Arma de Emissão de Campo Schottky |
| Tensão | Tensão de aceleração 0~30KV, Ajustável Contínuo, Etapa de Ajuste 100V@0-10Kv, 1KV@10-30KV | ||
| Olhada rápida | Função de imagem de visualização rápida de uma tecla | N / D | N / D |
| Sistema de lentes | Lente Cônica Eletromagnética de três níveis | Lente Cônica Eletromagnética de vários níveis | |
| Abertura | 3 aberturas objetivas de molibdênio, ajustáveis fora do sistema de vácuo, sem necessidade de desmontar a objetiva para alterar a abertura | ||
| Sistema de vácuo | 1 Bomba Molecular Turbo 1 Bomba Mecânica Vácuo da Sala de Amostra>2.6E-3Pa Vácuo da Sala da Arma de Elétron>2.6E-3Pa Controle de vácuo totalmente automático Função de bloqueio a vácuo Modelo opcional: A63.7069-LV 1 Bomba Molecular Turbo 2Bombas Mecânicas Vácuo da Sala de Amostra>2.6E-3Pa Vácuo da Sala da Arma de Elétron>2.6E-3Pa Controle de vácuo totalmente automático Função de bloqueio a vácuo Baixo vácuoFaixa 10~270Pa Para Troca Rápida em 90 Segundos Para BSE(LV) |
1 Conjunto de bomba de íons 1 Bomba Molecular Turbo 1 Bomba Mecânica Vácuo da Sala de Amostra>6E-4Pa Vácuo da sala do canhão de elétrons>2E-7 Pa Controle de vácuo totalmente automático Função de bloqueio a vácuo |
1 bomba de íons de pulverização 1 Bomba de Composto de Íons Getter 1 Bomba Molecular Turbo 1 Bomba Mecânica Vácuo da Sala de Amostra>6E-4Pa Vácuo da sala do canhão de elétrons>2E-7 Pa Controle de vácuo totalmente automático Função de bloqueio a vácuo |
| Detector | SE: Detector de elétrons secundários de alto vácuo (com proteção do detector) | SE: Detector de elétrons secundários de alto vácuo (com proteção do detector) | SE: Detector de elétrons secundários de alto vácuo (com proteção do detector) |
| BSE: Segmentação de Semicondutor 4 Detector de dispersão traseira Modelo opcional: A63.7069-LV BSE(LV): Segmentação de Semicondutor 4 Detector de dispersão traseira |
Opcional | Opcional | |
| CCD:Câmera CCD Infravermelha | CCD:Câmera CCD Infravermelha | CCD:Câmera CCD Infravermelha | |
| Estender Porta | 2 portas estendidas na sala de amostra para EDS, BSD, WDS etc. |
4 portas estendidas na sala de amostra para BSE, EDS, BSD, WDS etc. |
4 portas estendidas na sala de amostra para BSE, EDS, BSD, WDS etc. |
| Estágio de Amostra | Estágio de 5 eixos, 4Auto+1ManualAo controle Faixa de viagem: X=70mm, Y=50mm, Z=45mm, R=360°, T=-5°~+90°(Manual) Alerta de toque e função de parada |
5 EixosAuto MeioPalco Faixa de viagem: X=80mm, Y=50mm, Z=30mm, R=360°, T=-5°~+70° Alerta de toque e função de parada Modelo opcional: A63.7080-M5 EixosManualPalco A63.7080-L5 EixosAuto GrandePalco |
5 EixosAuto GrandePalco Faixa de viagem: X=150mm, Y=150mm, Z=60mm, R=360°, T=-5°~+70° Alerta de toque e função de parada |
| Max espécime | Diâmetro 175mm, Altura 35mm | Diâmetro 175mm, Altura 20mm | Diâmetro 340mm, Altura 50mm |
| Sistema de imagem | Resolução máxima de imagem fixa real 4096x4096 pixels, Formato de arquivo de imagem: BMP (padrão), GIF, JPG, PNG, TIF |
Resolução máxima de imagem fixa real 16384x16384 pixels, Formato de arquivo de imagem: TIF (padrão), BMP, GIF, JPG, PNG Vídeo: Gravação Automática de Vídeo Digital .AVI |
Resolução máxima de imagem fixa real 16384x16384 pixels, Formato de arquivo de imagem: TIF (padrão), BMP, GIF, JPG, PNG Vídeo: Gravação Automática de Vídeo Digital .AVI |
| Computador e software | PC Work Station Win 10 System, com software profissional de análise de imagem para controlar totalmente a operação do microscópio SEM, especificação do computador não inferior a Inter I5 3.2GHz, memória 4G, monitor LCD IPS de 24", disco rígido de 500G, mouse, teclado | ||
| Exibição de fotos | O nível de imagem é rico e meticuloso, mostrando ampliação em tempo real, régua, tensão, curva cinza | ||
| Dimensão & Peso |
Corpo do microscópio 800x800x1850mm Mesa de trabalho 1340x850x740mm Peso Total 400Kg |
Corpo do microscópio 800x800x1480mm Mesa de trabalho 1340x850x740mm Peso Total 450Kg |
Corpo do microscópio 1000x1000x1730mm Mesa de trabalho 1330x850x740mm Peso Total 550Kg |
| acessórios opcionais | |||
| acessórios opcionais | A50.7002Espectrômetro de raios X dispersivos de energia EDS A50.7011Revestimento por pulverização de íons |
A50.7001Detector de elétrons de retroespalhamento BSE A50.7002Espectrômetro de raios X dispersivos de energia EDS A50.7011Revestimento por pulverização de íons A50.7030Motorizar Painel de Controle |
A50.7001Detector de elétrons de retroespalhamento BSE A50.7002Espectrômetro de raios X dispersivos de energia EDS A50.7011Revestimento por pulverização de íons A50.7030Motorizar Painel de Controle |
| A50.7001 | Detector de BSE | Detector de Espalhamento Traseiro de Quatro Segmentos Semicondutor; Disponível em Ingredientes A+B, Informações de Morfologia AB; Amostra disponível Observar sem Sputtering Gold; Disponível em Observe a impureza e a distribuição diretamente do mapa em escala de cinza. |
| A50.7002 | EDS (detector de raios X) | Janela de nitreto de silício (Si3N4) para otimizar a transmissão de raios X de baixa energia para análise de elementos leves; Excelente resolução e sua eletrônica avançada de baixo ruído proporcionam excelente desempenho de rendimento; A Pequena Pegada Oferece Flexibilidade Para Garantir Geometria Ideal E Condições De Coleta Aata; Os detectores contêm um chip de 30mm2. |
| A50.7003 | EBSD (difração retroespalhada de feixe de elétrons) | o usuário pode analisar a orientação do cristal, fase do cristal e micro textura de materiais e desempenho de materiais relacionados, etc. otimização automática das configurações da câmera EBSD durante a coleta de dados, faça análises interativas em tempo real para obter o máximo de informações todos os dados foram marcados com time tag, que pode ser visualizado a qualquer momento alta resolução 1392 x 1040 x 12 Velocidade de digitalização e índice: 198 pontos / seg, com Ni como padrão, sob a condição de 2 ~ 5nA, pode garantir a taxa de índice ≥99%; funciona bem sob a condição de baixa corrente de feixe e baixa tensão de 5kV a 100pA precisão de medição de orientação: melhor que 0,1 graus Usando o sistema de índice triplex: não há necessidade de confiar na definição de banda única, fácil indexação de baixa qualidade de padrão banco de dados dedicado: banco de dados especial EBSD obtido por difração de elétrons: >400 estrutura de fase Capacidade de índice: pode indexar automaticamente todos os materiais de cristal de 7 sistemas de cristal. As opções avançadas incluem o cálculo da rigidez elástica (Elastic Stiffness), fator Taylor (Taylor), fator Schmidt (Schmid) e assim por diante. |
| A50.7010 | Maquina de revestimento | Escudo de proteção de vidro: ∮250mm;340mm de altura; Câmara de Processamento de Vidro: ∮88mm;140mm de altura, ∮88mm;57mm de altura; Tamanho do estágio da amostra: ∮40mm (máximo); Sistema de vácuo: bomba de moléculas e bomba mecânica; Detecção de Vácuo: Pirani Gage; Vácuo: melhor que 2 X 10-3 Pa; Proteção a Vácuo: 20 Pa Com Válvula de Inflação em Microescala; Movimento da amostra: Rotação plana, precessão de inclinação. |
| A50.7011 | Revestimento por pulverização de íons | Câmara de Processamento de Vidro: ∮100mm;130mm de altura; Tamanho do palco do espécime: ∮40mm (segure 6 copos do espécime); Tamanho do alvo dourado: ∮58mm*0.12mm (espessura); Detecção de Vácuo: Pirani Gage; Proteção a Vácuo: 20 Pa Com Válvula de Inflação em Microescala; Gás Médio: argônio ou ar com gás argônio entrada de ar especial e regulagem de gás em microescala. |
| A50.7012 | Revestimento de pulverização de íons de argônio | A Amostra Foi Revestida Com Carbono E Ouro Sob Alto Vácuo; Mesa de Amostra Rotativa, Revestimento Uniforme, Tamanho de Partícula Cerca de 3-5nm; Sem seleção de material alvo, sem danos às amostras; As funções de limpeza de íons e diluição de íons podem ser realizadas. |
| A50.7013 | Secador de Ponto Crítico | Diâmetro interno: 82mm, Comprimento interno: 82mm; Faixa de pressão: 0-2000psi; Faixa de temperatura: 0°-50°C (32°-122°F) |
| A50.7014 | Litografia por feixe de elétrons | Baseado em microscópio eletrônico de varredura, um novo sistema de nanoexposição foi desenvolvido; A modificação manteve todas as funções sem para fazer imagem de largura de linha em nanoescala; O sistema Ebl modificado amplamente aplicado em dispositivos microeletrônicos, dispositivos optoeletrônicos, dispositivos quânticos, pesquisa e desenvolvimento de sistemas microeletrônicos. |
| A63.7069 Equipamento de Consumíveis Padrão | |||
| 1 | Filamento de tungstênio | Pré-centrado, Importado | 1 caixa (5 peças) |
| 2 | Copo de Amostra | Diâmetro 13mm | 5 peças |
| 3 | Copo de Amostra | Diâmetro 32mm | 5 peças |
| 4 | Fita condutora dupla face de carbono | 6mm | 1 pacote |
| 5 | Graxa de vácuo | 10 PCS | |
| 6 | Pano Sem Pêlo | 1 tubo | |
| 7 | Pasta de polimento | 1 peça | |
| 8 | Caixa de Amostra | 2 Bolsas | |
| 9 | Cotonete | 1 peça | |
| 10 | Filtro de névoa de óleo | 1 peça | |
| A63.7069 Equipamento Padrão de Ferramentas e Peças | |||
| 1 | Chave hexagonal interna | 1,5 mm ~ 10 mm | 1 conjunto |
| 2 | Pinças | Comprimento 100-120mm | 1 peça |
| 3 | Chave de fenda | 2*50mm, 2*125mm | 2 peças |
| 4 | Chave de fenda cruzada | 2*125mm | 1 peça |
| 5 | Removedor de diafragma | 1 peça | |
| 6 | Vara de limpeza | 1 peça | |
| 7 | Ferramenta de Ajuste de Filamento | 1 peça | |
| 8 | Junta de ajuste de filamento | 3 peças | |
| 9 | Extrator de tubos | 1 peça | |
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