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▶A64.5401 caracteriza 1) O software da medida e de análise com operação integrada não precisa de comutar a relação para a operação, e os parâmetros da configuração são ajustados adiantado antes da medida. O software conta automaticamente os dados da medida e fornece a função da exportação do relatório dos dados, que pode rapidamente realizar a função da medida do grupo. 2) Forneça a função automática da medida da multi-área, a medida do grupo, o foco automático, o ajuste automático do brilho e outras funções automáticas. 3) Função de costura da medida Provide. 4) Forneça funções de processo de dados dos quatro módulos do ajuste de posição, da correção, da filtração e da extração. O ajuste de posição inclui funções tais como a imagem que nivela e que espelha; a correção inclui funções tais como a filtração espacial, retocar, e denoising máximo; filtrar inclui funções tais como a remoção da forma, o padrão que filtram, e a filtração espectral; a extração inclui funções tais como a extração de regiões e a extração de perfis. 5) Forneça cinco funções principais da análise que incluem a análise geométrica do perfil, a análise da aspereza, a análise de estrutura, a análise de frequência e a análise de função. Entre elas, a análise geométrica do perfil inclui características tais como a altura da etapa, a distância, o ângulo, a curvatura e as outras funções, e a retidão, a avaliação da tolerância da redondeza e as outras funções; a análise da aspereza inclui a linha aspereza de acordo com os standard internacionais ISO4287, aspereza de superfície ISO25178, ISO12781 que nivela o grau e as outras funções da análise do completo-parâmetro; a análise estrutural inclui o volume do poro e a profundidade da calha, etc.; a análise de frequência inclui funções tais como o sentido da textura e a análise de espectro; a análise funcional inclui funções tais como parâmetros de SK e parâmetros do volume. 6) Forneça funções auxiliares da análise tais como a análise da um-chave e análise do multi-arquivo, moldes ajustados da análise, combinados com as funções automáticas da medida e da medida do grupo fornecidas na medida, pode realizar a medida do grupo de dispositivos pequeno-feitos sob medida da precisão e diretamente obter os dados da análise. |
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O microscópio Confocal é um instrumento de teste usado para a medida do nanômetro de vários dispositivos e materiais da precisão. É baseado no princípio de tecnologia confocal, combinado com a tecnologia porosa da exploração paralela do disco, o algoritmo preciso do módulo de exploração do Z-sentido, da modelagem 3D, etc. para executar a exploração do não-contato na superfície do dispositivo e para estabelecer uma imagem 3D de superfície. A imagem 3D da superfície do dispositivo é executada através do software básico. Processo de dados e análise, e obtenha o 2D e os parâmetros 3D que refletem a qualidade de superfície do dispositivo, para realizar o instrumento ótico da inspeção para a medida 3D da topografia de superfície do dispositivo. |
| Folha de especificação técnica Confocal do microscópio A64.5401 | ||
| Princípio de medição | Sistema ótico Confocal | |
| Lente objetiva do microscópio | 10× (padrão), 20×, 50×, 100× (opcionais) | |
| Campo de visão | 160×160 μm~1.6×1.6 milímetro | |
| Quadro de varredura rate*1 | ≥10HZ | |
| Medida da altura | Repeatability*2 | 20×: 40nm; 50×: 20nm; 100×: 20nm |
| Accuracy*2 | μm do ± (0.2+L/100) | |
| Definição da exposição | 0.5nm | |
| Medida da largura | repeatability*3 | 20×: 100nm; 50×: 50nm; 100×: 30nm |
| Accuracy*3 | ± 2% | |
| Definição da exposição | 1nm | |
| Plataforma XY do deslocamento | tamanho | 210×210 milímetro |
| Escala móvel | 100×100 milímetro | |
| Carga | 10kg | |
| Método de controle | elétrico | |
| escala de movimento do Z-sentido | 100 milímetros | |
| Torre da lente objetiva | 5-hole motorizou | |
| Iluminação | fonte luminosa | Diodo emissor de luz |
| Saída máxima | 840mW | |
| Dimensões | 590×390×540mm | |
| Peso total | 45kg | |
| Fonte de alimentação | AC220V/50Hz | |
| Ambiente de trabalho | Temperatura 10℃~35℃, minutos de /15 <1>do ℃ do inclinação de temperatura, umidade 30~80%, vibração <0> | |
| Observação: *1 usam uma lente 20x para medir um bloco da amostra da etapa do padrão de 4.7µm em uma temperatura ambiental de 20±2°C. *2 medem o bloco da amostra da etapa do padrão de 4.7µm em uma temperatura ambiental de 20±2°C com uma lente de 20 vezes ou de mais. *3 usam uma lente de 20 vezes ou de mais medir a amostra padrão do retículo em uma temperatura ambiental de 20±2°C. |
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| Especificações da lente objetiva | Abertura numérica modelo de distância de funcionamento do campo de visão (W.D.) (N.A.) | |
| μm 10,6 milímetro 0,25 de 10X 1600×1600 | ||
| μm 1,3 milímetro 0,40 de 20X 800×800 | ||
| μm 0,38 milímetro 0,75 de 50X 320×320 | ||
| μm 0,21 milímetro 0,90 de 100X 160×160 | ||
| Lista da configuração de produto Configuração padrão: |
1) Corpo A64.5401 principal | |
| 2) Fase XY do deslocamento: fase automática do deslocamento | ||
| 3) Computador do tipo | ||
| 4) Módulo da calibração do sistema | ||
| 5) Manche | ||
| 6) Software Confocal do microscópio | ||
| 7) Caixa dos acessórios do instrumento | ||
| 8) Manual do produto | ||
| 9) Certificado do produto, cartão da garantia | ||
| Opcional | 1) Lente objetiva de medição: 20×, 50×, 100× | |
| 2) Tabela da sução do vácuo (para bolachas de semicondutor): 6 polegadas, 8 polegadas; | ||
| 3) Módulo de emenda da função da medida da medida automática (exige o apoio do hardware) | ||
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Execute as características de superfície da topografia tais como os contornos de superfície, defeitos de superfície, vista condições, condições da corrosão, nivelamento, aspereza, waviness, diferenças do poro, alturas da etapa, deformações de dobra, e condições de processamento de vários produtos, componentes e materiais. Medida e análise. |
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▶4,1 elevada precisão e repetibilidade alta O sistema de medida composto de sensores de baixo nível de ruído da imagem latente, componentes e codificadores óticos de capacidade elevada, e algoritmos excelentes da reconstrução 3D para assegurar a medida que encontra os padrões; enraizado na indústria da medida por muitos anos, na mesma linha de projeto industrial e no nível de processamento superior para assegurar a um nível elevado a repetibilidade da medida. |
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▶4,2 exploração paralela de alta velocidade A exploração paralela do multi-ponto do perfil que usa o disco poroso melhora extremamente a eficiência do trabalho comparada com o esquema tradicional da exploração do único-ponto do galvanômetro, e a exploração pode ser terminada somente em alguns segundos. |
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▶4,3 adaptação forte O sistema de medida tem um alcance dinâmico ultra-alto para poses diferentes da amostra, complexidade da superfície, e a refletividade de superfície.
▶4,4 software integrado da medida e de análise 1) A medida e a análise são operadas na mesma relação, sem interruptor, os dados da medida são contadas automaticamente, e a função da medida rápida do grupo é realizada; 2) A janela visual é conveniente para que os usuários observem o processo de varredura no tempo real; 3) Combinado com a função automática da medida do molde feito sob encomenda da análise, pode automaticamente terminar o processo da medida e da análise da multi-região; 4) Os cinco módulos funcionais da análise geométrica, da análise da aspereza, da análise de estrutura, da análise de frequência, e da análise de função estão completos; 5) a análise do Um-clique, análise do multi-arquivo, artigos livremente combinados da análise salvar como moldes da análise, análise do um-clique de amostras do grupo, e as funções do análise de dados e as estatísticas da carta são fornecidas; 6) Mais de 300 2D e parâmetros 3D podem ser medidos de acordo com ISO/ASME/EUR/GBT e outros padrões. |
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▶4,5 manche da precisão O manche integrado com a função do ajuste do deslocamento nos três sentidos de X, de Y, e de Z pode rapidamente terminar o trabalho da pre-medida tal como a tradução da fase e a focalização do Z-sentido.
▶4,6 projeto anticolisão Evite dano à lente objetiva e ao objeto para ser medido devido à colisão causada por Misoperation.
▶4,7 microscópio inteiramente elétrico Equipado com uma série de peças elétricas, estas peças elétricas proximamente conectadas trabalham junto para fazer a observação rápida e simples. |
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