| Função principal do software A63.7069 | ||
| Regulamento de alta pressão | Linha vertical varredura | Regulamento potencial do deslocamento |
| Regulamento atual do filamento | Ajuste do condensador | Multi medida da escala |
| Ajuste astigmático | Elétrico ao ajuste central | Brilho/contraste automáticos |
| Ajuste do brilho | Ajuste da lente objetiva | Auto foco |
| Ajuste de contraste | Estreia da foto | Eliminação automática do astigmatismo |
| Ajuste de ampliação | Régua ativa | Ajuste automático do filamento |
| Modo de exploração da área selecionada | Ajuste da velocidade de varredura 4 | Gestão dos parâmetros |
| Modo de exploração do ponto | Inversão da lente objetiva | Instantâneo da imagem, congelação da imagem |
| Exploração de superfície | Reversão do condensador | Uma vista rápida chave |
| Linha exploração horizontal | Ajuste elétrico da rotação | |
| SEM | A63.7069 | A63.7080 | A63.7081 |
| Definição | 3nm@30KV (SE) 6nm@30KV (EBS) |
1.5nm@30KV (SE) 3nm@30KV (EBS) |
1.0nm@30KV (SE) 3.0nm@1KV (SE) 2.5nm@30KV (EBS) |
| Ampliação | ampliação 8x~300000x verdadeira negativa | ampliação 8x~800000x verdadeira negativa | ampliação 6x~1000000x verdadeira negativa |
| Arma de elétron | Cartucho Pre-centrado do filamento do tungstênio | Arma da emissão de campo de Schottky | Arma da emissão de campo de Schottky |
| Tensão | A tensão de aceleração 0~30KV, ajustável contínuo, ajusta a etapa 100V@0-10Kv, 1KV@10-30KV | ||
| Vista rápida | Uma função rápida chave da imagem da vista | N/A | N/A |
| Sistema de lente | lente afilada eletromagnética dos Três-níveis | lente afilada eletromagnética dos Multi-níveis | |
| Abertura | 3 aberturas objetivas do molibdênio, parte externa ajustável do sistema do vácuo, nenhuma necessidade desmontam o objetivo para mudar a abertura | ||
| Sistema do vácuo | 1 bomba molecular do turbocompressor 1 bomba mecânica Sala Vacuum>2.6E-3Pa da amostra Sala de arma Vacuum>2.6E-3Pa do elétron Controle inteiramente auto do vácuo Função do bloqueio do vácuo Modelo opcional: A63.7069-LV 1 bomba molecular do turbocompressor 2 bombas mecânicas Sala Vacuum>2.6E-3Pa da amostra Sala de arma Vacuum>2.6E-3Pa do elétron Controle inteiramente auto do vácuo Função do bloqueio do vácuo Baixa escala 10~270Pa do vácuo para o interruptor rápido em 90 segundos para EBS (LV) |
1 Ion Pump Set 1 bomba molecular do turbocompressor 1 bomba mecânica Sala Vacuum>6E-4Pa da amostra Pa da sala de arma Vacuum>2E-7 do elétron Controle inteiramente auto do vácuo Função do bloqueio do vácuo |
1 salpico Ion Pump 1 getter Ion Compound Pump 1 bomba molecular do turbocompressor 1 bomba mecânica Sala Vacuum>6E-4Pa da amostra Pa da sala de arma Vacuum>2E-7 do elétron Controle inteiramente auto do vácuo Função do bloqueio do vácuo |
| Detector | SE: Detector de elétron secundário do vácuo alto (com proteção do detector) | SE: Detector de elétron secundário do vácuo alto (com proteção do detector) | SE: Detector de elétron secundário do vácuo alto (com proteção do detector) |
| EBS: Segmentação do semicondutor 4 Detector traseiro da dispersão Modelo opcional: A63.7069-LV EBS (LV): Segmentação do semicondutor 4 Detector traseiro da dispersão |
Opcional | Opcional | |
| CCD: Câmera infravermelha do CCD | CCD: Câmera infravermelha do CCD | CCD: Câmera infravermelha do CCD | |
| Estenda portuário | 2 estenda portos na sala da amostra para EDS, DEB, WDS etc. |
4 estenda portos na sala da amostra para EBS, EDS, DEB, WDS etc. |
4 estenda portos na sala da amostra para EBS, EDS, DEB, WDS etc. |
| Fase do espécime | Fase de 5 machados, controle 4 auto +1 manual Escala do curso: X=70mm, Y=50mm, Z=45mm, R=360°, T=-5°~+90° (manual) Alerta do toque & função da parada |
Auto fase média de 5 machados Escala do curso: X=80mm, Y=50mm, Z=30mm, R=360°, T=-5°~+70° Alerta do toque & função da parada Modelo opcional: Fase manual dos machados de A63.7080-M 5 Fase dos machados de A63.7080-L 5 auto grande |
Auto grande fase de 5 machados Escala do curso: X=150mm, Y=150mm, Z=60mm, R=360°, T=-5°~+70° Alerta do toque & função da parada |
| Max Specimen | Dia.175mm, altura 35mm | Dia.175mm, altura 20mm | Dia.340mm, altura 50mm |
| Sistema da imagem | Pixéis imóveis reais de Max Resolution 4096x4096 da imagem, Formato de arquivo da imagem: BMP (defeito), GIF, JPG, png, TIF |
Pixéis imóveis reais de Max Resolution 16384x16384 da imagem, Formato de arquivo da imagem: TIF (defeito), BMP, GIF, JPG, png Vídeo: Auto registro Digital. AVI Video |
Pixéis imóveis reais de Max Resolution 16384x16384 da imagem, Formato de arquivo da imagem: TIF (defeito), BMP, GIF, JPG, png Vídeo: Auto registro Digital. AVI Video |
| Computador & software | Sistema da vitória 10 da estação de trabalho do PC, com o software de análise profissional da imagem para controlar inteiramente SEM Microscope Operation inteiro, especificação I5 não menos do que inter 3.2GHz do computador, 4G memória, 24" monitor do IPS LCD, 500G disco rígido, rato, teclado | ||
| Exposição da foto | O nível da imagem é Rich And Meticulous, mostrando a ampliação do tempo real, régua, tensão, Gray Curve | ||
| Dimensão & peso |
Corpo do microscópio 800x800x1850mm Tabela de funcionamento 1340x850x740mm Peso total 400Kg |
Corpo do microscópio 800x800x1480mm Tabela de funcionamento 1340x850x740mm Peso total 450Kg |
Corpo do microscópio 1000x1000x1730mm Tabela de funcionamento 1330x850x740mm Peso total 550Kg |
| Acessórios opcionais | |||
| Acessórios opcionais | Espectrómetro de raio X dispersivo da energia de A50.7002 EDS A50.7011 Ion Sputtering Coater |
Parte traseira da EBS A50.7001 que dispersa o detector de elétron Espectrómetro de raio X dispersivo da energia de A50.7002 EDS A50.7011 Ion Sputtering Coater A50.7030 motorizam o painel de controle |
Parte traseira da EBS A50.7001 que dispersa o detector de elétron Espectrómetro de raio X dispersivo da energia de A50.7002 EDS A50.7011 Ion Sputtering Coater A50.7030 motorizam o painel de controle |
| A50.7001 | Detector da EBS | Detector traseiro da dispersão do segmento do semicondutor quatro; Disponível nos ingredientes A+B, A-B da informação da morfologia; A amostra disponível observa sem engasgar o ouro; Disponível observe dentro a impureza e a distribuição do mapa do Grayscale diretamente. |
| A50.7002 | EDS (X Ray Detector) | Janela do nitreto de silicone (Si3N4) para aperfeiçoar a transmissão do raio X da baixa energia para a análise clara do elemento; Definição excelente e sua eletrônica de baixo nível de ruído avançada para fornecer o desempenho proeminente da taxa de transferência; A pegada pequena oferece a flexibilidade assegurar condições ideais da geometria e da coleção de Aata; Os detectores contêm uma microplaqueta 30mm2. |
| A50.7003 | EBSD (difração Backscattered do feixe de elétron) | o usuário poderia a orientação de cristal da análise, a fase de cristal e micro textura dos materiais e desempenho relacionado dos materiais, etc. otimização automática de ajustes da câmera de EBSD durante o levantamento de dados, faça a análise em tempo real interativa para obter a informação máxima todos os dados foram marcados com etiqueta do tempo, que pode ser vista a qualquer hora alta resolução 1392 x X12 1040 Velocidade da exploração e do índice: 198 pontos/segundo, com Ni como o padrão, sob a condição de 2~5nA, pode assegurar a taxa ≥99% do índice; trabalhos bem sob a condição da baixa tensão atual e baixa do feixe de 5kV em 100pA precisão de medição da orientação: Melhor de 0,1 graus Usando o sistema triplex do índice: nenhuma necessidade para confiar na única definição da faixa, índice fácil da qualidade pobre do teste padrão banco de dados dedicado: Banco de dados especial de EBSD obtido pela difração de elétron: estrutura da fase >400 Posicione a capacidade: pode automaticamente posicionar todos os materiais de cristal de 7 sistemas de cristal. As opções avançadas incluem o cálculo da rigidez elástica (rigidez elástica), fator de Taylor (Taylor), fator de Schmidt (Schmid) e assim por diante. |
| A50.7010 | Máquina de revestimento | Shell de proteção de vidro: ∮250mm; 340mm altos; Câmara de processamento de vidro: ∮88mm; elevação de 140mm, ∮88mm; 57mm altos; Tamanho da fase do espécime: ∮40mm (máximo); Sistema do vácuo: bomba do molecula e bomba mecânica; Detecção do vácuo: Calibre de Pirani; Vácuo: melhor de Pa 2 x 10-3; Proteção do vácuo: Pa 20 com a válvula da inflação do Microscale; Movimento do espécime: Rotação plana, precessão da inclinação. |
| A50.7011 | Ion Sputtering Coater | Câmara de processamento de vidro: ∮100mm; 130mm alto; Tamanho da fase do espécime: ∮40mm (copos do espécime da posse 6); Tamanho dourado do alvo: ∮58mm*0.12mm (espessura); Detecção do vácuo: Calibre de Pirani; Proteção do vácuo: Pa 20 com a válvula da inflação do Microscale; Gás médio: argônio ou ar com a entrada de ar especial do gás do argônio e gás que regula no Microscale. |
| A50.7012 | Argônio Ion Sputtering Coater | A amostra foi chapeada com o carbono e o ouro sob o vácuo alto; Tabela Rotatable da amostra, revestimento uniforme, tamanho de partícula sobre 3-5nm; Nenhuma seleção do material de alvo, nenhum dano às amostras; As funções de Ion Cleaning And Ion Thinning podem ser realizadas. |
| A50.7013 | Secador do ponto crítico | Diâmetro interno: 82mm, comprimento interno: 82mm; Amplitude da pressão: 0-2000psi; Variação da temperatura: 0°-50° C (32°-122° F) |
| A50.7014 | Litografia de feixe de elétron | Baseado no microscópio de elétron da exploração, um sistema novo da Nano-exposição foi desenvolvido; O Modificaton manteve tudo a linha imagem de Sem Functions For Making Nanoscale da largura; O sistema Widly de Modificated Ebl aplicado em dispositivos microeletrónicos, dispositivos Optoelectronic, dispositivos de Quantun, sistema R&d. da microeletrônica. |
| Equipamento padrão dos materiais de consumo A63.7069 | |||
| 1 | Filamento do tungstênio | Pre-centrado, importado | 1 caixa (5 PCes) |
| 2 | Copo da amostra | Dia.13mm | 5 PCes |
| 3 | Copo da amostra | Dia.32mm | 5 PCes |
| 4 | Fita condutora frente e verso do carbono | 6mm | 1 pacote |
| 5 | Graxa do vácuo | 10 PCes | |
| 6 | Pano calvo | 1 tubo | |
| 7 | Pasta de lustro | 1 PC | |
| 8 | Caixa da amostra | 2 sacos | |
| 9 | Cotonete de algodão | 1 PC | |
| 10 | Filtro da névoa do óleo | 1 PC | |
| As ferramentas A63.7069 & as peças padrão equipam | |||
| 1 | Chave inglesa interna do hexágono | 1.5mm~10mm | 1 grupo |
| 2 | Pinça | Comprimento 100-120mm | 1 PC |
| 3 | Chave de fenda entalhada | 2*50mm, 2*125mm | 2 PCes |
| 4 | Chave de fenda transversal | 2*125mmm | 1 PC |
| 5 | Removedor do diafragma | 1 PC | |
| 6 | Rod de limpeza | 1 PC | |
| 7 | Ferramenta de ajuste do filamento | 1 PC | |
| 8 | Filamento que ajusta a gaxeta | PC 3 | |
| 9 | Extrator do tubo | 1 PC | |
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